Description

Серия 8NTS идеально подходит для плавного перемещения оптических элементов или зонда с нанометровым разрешением в системах с открытым и замкнутым контуром.

Подвижная центральная часть закреплена на гибких пружинах и приводится в действие пьезоприводами для обеспечения высокой жесткости и стабильности работы. Конструкция 8NTS обеспечивает отличную линейность и плоскостность движения, в отличие от классических сканеров на основе пьезоэлектрических трубок, где поверхность сканирования является сферой. Кроме того, плоскопараллельные сканеры имеют более высокую механическую прочность по сравнению с хрупкими пьезоэлектрическими трубками.

8NTS-XY(Z)-200 оснащен емкостными датчиками перемещения для цифрового управления с обратной связью. Он обеспечивает высокую точность и линейность движения и устраняет эффект ползучести, свойственный пьезокерамике. Измерения емкостей производятся с технологией TDC (Technology and Drives Control), где вся измерительная электроника расположена как можно ближе к датчикам. Такая конструкция приводит к малошумному и высокоскоростному регулированию смещения.

Для управления пьезотранслятором 8NTS-XY(Z)-200 используются универсальные контроллеры 8NSC-3000 или 8NSC-1000, а также программное обеспечение NSpec.

Область применения для 8NTS-XY(Z)-200 включает: сканирующую зондовую микроскопию (например, атомно-силовая микроскопия), нанопозиционирование, метрологию, биологию, микроэлектронику, микроманипуляции и т. д.

Особенности

• Технология датчиков с удвоенной емкостью для обратной связи
• Диапазон перемещения в горизонтальном направлении до 200 мкм
• Диапазон перемещения в вертикальном направлении до 20 мкм
• Сверхвысокое разрешение 0,1 нм
• Бюджетный
• Компактный дизайн и малый вес
• Подходит для универсальных применений
• Высокая жесткость
• Компенсированный эффект ползучести пьезокерамики
• Устойчивость к помехам на низких частотах
• Идеально подходит для микроскопического применения
• Версия для работы в вакууме